リソグラフィー【lithography】 ①平版。 ②微細加工技術の一種。加工表面に感光性樹脂を塗布し、原板を焼きつけ、樹脂のパターンを作って腐食加工する方法。シャドー‐マスク・集積回路などの製造に用いる。

リトグラフ【lithographe フランス】 ^（→）石版画。

リソグラフィー [3] lithography （１）石版印刷。リトグラフ。 （２）半導体製造の際，微細な回路パターンを基板表面に光を照射し転写する技術の総称。

リトグラフ [3] lithograph 石版画。リトグラフィ。

lith・o・graph[lrf/-r:f] n.石版刷り〔画〕.

li・thog・ra・phy[lirfi/--] n.石版印刷(術).