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3〔物理〕(イオンを照射して)〈金属〉の原子を飛び出させる, …をスパッタする;(イオン照射で)〈金属〉を被覆する.🔗🔉

3〔物理〕(イオンを照射して)〈金属〉の原子を飛び出させる, …をスパッタする;(イオン照射で)〈金属〉を被覆する.

ジーニアス英和大辞典 ページ 57984 での物理イオンを照射してイオン照射で単語。