エスカ [1] ESCA 〔electron spectroscopy for chemical analysis〕 電子分光法による分析法の一。試料に X 線をあて，そこから放出される電子の運動エネルギー分布を調べることにより，試料の化学結合の状態が分析できる。試料表面の物質の吸着状態，触媒作用などを解析する。