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フォト-レジスト [4]
photoresist
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フォト-レジスト [4]
photoresist
薄膜にして光を照射すると,耐薬品性の大きな硬質膜に変化する感光性材料。ポリケイ皮酸ビニルをはじめとする感光性樹脂などが使われる。耐薬品性の増すものだけでなく,逆に,薬品に溶けやすくなるものもいう。プリント配線基板,IC ,LSI の製造,新聞などの印刷版の作製などに利用される。
photoresist
薄膜にして光を照射すると,耐薬品性の大きな硬質膜に変化する感光性材料。ポリケイ皮酸ビニルをはじめとする感光性樹脂などが使われる。耐薬品性の増すものだけでなく,逆に,薬品に溶けやすくなるものもいう。プリント配線基板,IC ,LSI の製造,新聞などの印刷版の作製などに利用される。
大辞林 ページ 153340 での【フォトレジスト [4] photoresist】単語。