フォト‐レジスト【photoresist】 薄膜にして光・紫外線・電子線などを照射すると、その部分だけ構造変化し、耐薬品性を増したり、逆に薬品に溶けやすくなったりする材料。感光性樹脂など。ＩＣ回路やＬＳＩ回路の作製、プリント配線基板、印刷などに広く利用。→フォト‐リソグラフィー ⇒フォト【photo】