イオンほうしゃけんびきょう【イオン放射顕微鏡】 試料表面の原子配置を観察する装置。調べようとする物質を針状にして陽極とし，蛍光膜をつけた陰極との間に高電圧をかけ，管内に少量のヘリウムを入れる。陽極に衝突して生じたヘリウムイオンが蛍光膜に直進して表面の拡大像をつくる。倍率約 100 万倍。電界イオン顕微鏡。