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プラズマ‐エッチング【plasma etching】🔗⭐🔉

プラズマ‐エッチング【plasma etching】ドライ‐エッチングの一種。プラズマで生成されたラジカル（遊離基）によって対象物を腐蝕・除去するもの。 ⇒プラズマ【plasma】

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