イオン-ビーム [4] ion beam 原子や分子から電子衝撃などによってつくられたイオンを，電場や磁場によって制御して方向性を整えた流れ。イオン源（銃）・加速部電磁レンズ・偏向部などから構成される装置でつくられる。加速器，半導体中への不純物注入・表面清浄化・表面加工，表面および内部の分析などに用いられる。