エピタキシー [3] epitaxy 真空中で単結晶の上に蒸着膜を成長させると単結晶状の薄膜が生じる現象。半導体では比抵抗の小さい基板の上に高抵抗の結晶膜をつくってダイオード・トランジスタの製作に利用される。エピタキシー成長。