しんくう-じょうちゃく [5] 【真空蒸着】 真空中で金属や化合物などを加熱蒸発させ，その蒸気を物体表面に薄膜状につけること。レンズのコーティング，電子部品や半導体，集積回路，光学部品の反射膜など数ナノメートルから数マイクロメートルの膜の形成に利用する。