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リソグラフィー
lithography
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リソグラフィー [3] lithography
（１）石版印刷。リトグラフ。
（２）半導体製造の際，微細な回路パターンを基板表面に光を照射し転写する技術の総称。
lithography
（１）石版印刷。リトグラフ。
（２）半導体製造の際，微細な回路パターンを基板表面に光を照射し転写する技術の総称。
li・thog・ra・phy［li
r
fi/‐
‐］（英和）🔗⭐🔉
li・thog・ra・phy[lirfi/--]
n.石版印刷(術).
rfi/--]
n.石版印刷(術).
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