リソグラフィー【lithography】 ①平版。 ②微細加工技術の一種。加工表面に感光性樹脂を塗布し、原板を焼きつけ、樹脂のパターンを作って腐食加工する方法。シャドー‐マスク・集積回路などの製造に用いる。