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ドライ‐エッチング【dry etching】🔗🔉

ドライ‐エッチングdry etching】 真空中での放電により生成したイオンや遊離基を用い、酸化物や半導体の所要部分を腐蝕・除去する技術。↔ウェット‐エッチング。 ⇒ドライ【dry】

広辞苑 ページ 14322 でのdry etching単語。