シー-ブイ-ディー [5] CVD 〔chemical vapor deposition〕 半導体・絶縁体・金属などをガスにして加熱した基板上で化学反応により堆積させ，薄膜を形成する技術。化学的気相成長法。化学蒸着法。 →真空蒸着